采用近场读出系统验证PTM的真实能力

• 作者: Shin Masuhara 何留玥
• 来源期刊: 记录媒体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 读出系统 PTM 无机光刻胶 记录密度 只读光盘 母盘 相变光盘 刻录机 间接观察 浸没透镜
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 页码范围: 29-32
• 页数: 4页
• 分类号: TP333.4

摘要

【正】一、前言索尼公司开发了PTM(Phase Transition Mastering,相态转换母盘刻录)工艺,用于25GB蓝光只读光盘(Blu-ray ROM)的母盘刻录。PTM工艺的特点是使用无机光刻胶,能获得比传统母盘刻录工艺更高的记录密度。首先,SEM和AFM对坑点的间接观察表明,PTM工艺能获得超乎我们预期的更高的分辨率。另一方面,近场写入和读出系统的开发也在我们实验室同步进行。以往用于评估近

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	Shin Masuhara		1	0	0.0	0.0
2	何留玥		1	0	0.0	0.0