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摘要:
采用二次阳极氧化铝的方法制备出厚度仅为509 nm超薄多孔阳极氧化铝模版,氧化铝模版上孔洞大小均匀.呈完美的六角分布,孔径为35 nm左右,孔间距约为100 nm.成功地将多孔阳极氧化铝模版转移到硅衬底上,并在磷酸溶液中通孔,使薄膜上小孔双向贯通.可以十分方便的利用该模版合成纳米点、纳米柱等纳米结构.
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文献信息
篇名 超薄阳极氧化铝模版的制备
来源期刊 微细加工技术 学科 工学
关键词 阳极氧化铝 超薄 纳米结构
年,卷(期) 2008,(5) 所属期刊栏目 薄膜技术
研究方向 页码范围 12-15
页数 4页 分类号 TN304.055
字数 2806字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 王启明 中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室 118 735 14.0 20.0
2 成步文 中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室 41 185 8.0 10.0
3 胡迪 中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室 4 8 1.0 2.0
4 白安琪 中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室 2 6 1.0 2.0
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研究主题发展历程
节点文献
阳极氧化铝
超薄
纳米结构
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
微细加工技术
双月刊
1003-8213
43-1140/TN
大16开
湖南省长沙市
1983
chi
出版文献量(篇)
672
总下载数(次)
2
总被引数(次)
4940
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
国家重点基础研究发展计划(973计划)
英文译名:National Basic Research Program of China
官方网址:http://www.973.gov.cn/
项目类型:
学科类型:农业
国家高技术研究发展计划(863计划)
英文译名:The National High Technology Research and Development Program of China
官方网址:http://www.863.org.cn
项目类型:重点项目
学科类型:信息技术
论文1v1指导