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摘要:
等离子体是由大量的电子、离子、中性粒子组成.等离子体中存在着复杂的原子分子过程以及复杂的物理化学反应,这些粒子和这些复杂的过程作用于材料表面,会使材料表面的结构、成分和性能发生变化.详细分析了等离子体对材料表面作用的过程及机理,并以磁控溅射制备氮化铜薄膜为例,讨论了气体压强和基底温度对薄膜结构的影响.
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文献信息
篇名 等离子体对材料表面作用机理分析
来源期刊 湖北民族学院学报(自然科学版) 学科 物理学
关键词 等离子体 表面改性 磁控溅射 氮化铜薄膜
年,卷(期) 2008,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 173-178
页数 6页 分类号 O593
字数 6763字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1008-8423.2008.02.016
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 熊小勇 湖北民族学院理学院 12 37 3.0 5.0
2 杨建平 湖北民族学院理学院 27 66 4.0 7.0
3 左安友 湖北民族学院理学院 56 153 6.0 8.0
4 李兴鳌 湖北民族学院理学院 32 94 5.0 8.0
8 袁作彬 湖北民族学院理学院 29 93 5.0 8.0
9 翁祝林 湖北民族学院理学院 6 26 3.0 5.0
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研究主题发展历程
节点文献
等离子体
表面改性
磁控溅射
氮化铜薄膜
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
湖北民族大学学报(自然科学版)
季刊
2096-7594
42-1908/N
大16开
湖北省恩施市三孔桥湖北民族学院学报编辑部
1982
chi
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