篇名 | Charge-sensitive Deep Level Transient Spectroscopy of Helium-ion-irradiated Silicon on Thermal Annealing | ||
来源期刊 | 近代物理研究所和兰州重离子加速器实验室年报:英文版 | 学科 | 工学 |
关键词 | 深能级瞬态谱 热退火 氦离子 离子束照射 电荷灵敏 硅 辐射诱导 电活性 | ||
年,卷(期) | 2008,(1) | 所属期刊栏目 | |
研究方向 | 页码范围 | 58-59 | |
页数 | 2页 | 分类号 | TN304.26 |
字数 | 语种 | ||
DOI |