锆钛酸铅多层膜的铁电和介电特性

• 作者: 商景林 孙璟兰 张婷 戴宁 胡古今 褚君浩 谢婧
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 物理学
• 关键词: PZT多层膜 铁电 介电 极性缺陷复合体
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 全国半导体物理学术会议邀请报告选编
• 页码范围: 169-171,184
• 页数: 4页
• 分类号: O469
• 字数: 3994字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2008.03.003

摘要

研究了特异结构锆钛酸铅PbZr0.38Ti0.62O3(PZT)多层膜的铁电和介电特性.同均一相PZT薄膜材料相比,由致密层和多孔层交替排列形成的近周期PZT多层膜具有铁电、介电增强效应.在100V极化电压下,多层膜的平均剩余极化强度达42.3μC/cm2,矫顽场为43kV/cm.大的极化强度值归因于大的膜厚和多孔结构有效释放膜内张应力的结果.室温低频限下,PZT多层膜的表观相对介电常数超过2000.极为有趣的是,在所研究的频率范围,PZT多层膜具有两种截然不同的介电驰豫.低频介电损耗峰源自空间电荷极化;而遵从Arrhenius律的高频介电响应可能同与氧空位Vo"相关的极性缺陷复合体有关.