六芳基双咪唑复合光引发体系的研究及其在液态光致抗蚀剂中的应用

• 作者: HU Jian-qi JIANG Jin-qiang QIAN Xiao-chun ZHANG Sheng-wen 刘仁 刘晓亚 吴士荣 应明友
• 来源期刊: 信息记录材料
• 学科: 工学
• 关键词: 邻氯代六芳基双咪唑 供氢体 增感剂 液态光致抗蚀剂 感光性能
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 46-51
• 页数: 6页
• 分类号: TQ59
• 字数: 4119字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-5624.2008.04.011

摘要

光引发剂邻氯代六芳基双咪唑(BCIM)、增感剂4,4-二(N,N'-二甲基-氨基)苯甲酮(EMK)与4种不同的供氢体N-苯基甘氨酸(NPG)、2-巯基苯并噻唑(MBO)、2-巯基苯并咪唑(MBI)、十二烷基硫醇(RSH)组成4种复合光引发体系.通过实时红外光谱研究了供氢体种类、复合引发剂用量对光致抗蚀剂感光性能的影响,并用该复合引发体系替代传统的907/ITX光引发体系制备线路板用液态光致抗蚀剂中,研究结果表明BCIM、EMK、NPG复合光引发体系效果比传统907/ITX光引发体系有提高,所得线路板成像边缘更光滑.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘晓亚	江南大学化学与材料工程学院	275	2088	22.0	30.0
2	HU Jian-qi	江南大学化学与材料工程学院	1	5	1.0	1.0
3	应明友		1	5	1.0	1.0
4	QIAN Xiao-chun	江南大学化学与材料工程学院	1	5	1.0	1.0
5	吴士荣	江南大学化学与材料工程学院	1	5	1.0	1.0
6	ZHANG Sheng-wen	江南大学化学与材料工程学院	1	5	1.0	1.0
7	刘仁		1	5	1.0	1.0
8	JIANG Jin-qiang	江南大学化学与材料工程学院	1	5	1.0	1.0