配体氮上取代基对二齿双氨基脒钴(Ⅱ)型ALD前驱体稳定性的影响

• 作者: 吴金平 周成冈 姚淑娟 李嘉烨 韩波
• 来源期刊: 化学学报
• 学科: 化学
• 关键词: 原子层气相沉积 bis-amidinate 过渡态 密度泛函理论
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 165-169
• 页数: 5页
• 分类号: O6
• 字数: 4106字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0567-7351.2008.02.003

摘要

新型的二齿双氮基脒金属前驱体bis-amidinate在原子层气相沉积(ALD)中表现出了广阔的应用前景.前驱体适用性取决于其是否具备适当的稳定性,而bis-amidinate型前驱体的稳定性可由侧链取代基上β基团的迁移重排来表征.利用密度泛函理论方法研究了配体氮原子上不同取代基对bis-amidinate型Co前驱体稳定性的影响.结果表明,β-H的迁移较β-Me的迁移相对容易,而β基团在不同取代基前驱体中的迁移能力次序为:异丙基(β-H)>2-丁基(β-H)>叔丁基(β-CH3).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴金平	中国地质大学理论化学与计算材料学研究所	26	170	9.0	11.0
2	周成冈	中国地质大学理论化学与计算材料学研究所	12	56	4.0	7.0
3	姚淑娟	中国地质大学理论化学与计算材料学研究所	3	16	2.0	3.0
4	李嘉烨	中国地质大学理论化学与计算材料学研究所	2	1	1.0	1.0
5	韩波	中国地质大学理论化学与计算材料学研究所	7	56	3.0	7.0