微机电系统技术及其在航天器上的应用展望

• 作者: 申坤
• 来源期刊: 空间控制技术与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 技术特征 关键技术 加工工艺
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 论文与报告
• 页码范围: 56-59
• 页数: 4页
• 分类号: TP271.4
• 字数: 4662字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-1579.2008.01.010

摘要

微机电系统是指集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、各种接口、通信电路和电源等于一体的微型器件或系统.随着科学技术的发展,微机电系统在精度和可靠性方面都有了很大的提高,得到了越来越广泛的应用.论述了微机电系统的技术特征、主要技术和加工工艺,并展望了微机电系统在航天器上的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	申坤		8	30	3.0	5.0