电镜扩散泵系统的维护与故障分析

• 作者: 林曦
• 来源期刊: 现代科学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 机械泵 油扩散泵 真空系统 真空泵油 维护 故障分析
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 实验室建设
• 页码范围: 113-116
• 页数: 4页
• 分类号: TB751
• 语种: 中文

摘要

油扩散泵系统是电镜真空系统的核心部分.本文在分析该系统工作原理的基础之上,着重讨论了系统的日常维护、泵油的选择原则与更换清洗方法、典型故障分析与处理等主要方面的问题,同时提出了对扩散泵系统的维护原则与使用建议,以方便电镜及相关仪器工作者解决扩散泵系统可能出现的问题.本文对于采用油扩散泵的其他仪器系统也具有一定的参考价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林曦	福建医科大学病理学系电子显微镜室	50	119	6.0	9.0