一种原子力显微镜中蠕变迟滞非线性特性补偿方案

• 作者: 张承进 肖祥丽
• 来源期刊: 福州大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 压电驱动器 迟滞特性 蠕变特性 纳米定位
• 年，卷（期）: 2008,（z1）
• 页码范围: 4-7
• 页数: 4页
• 分类号: TP273
• 字数: 2173字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-2243.2008.z1.002

摘要

压电陶瓷通常用于原子力显微镜(AFM)中的扫描器中,但是在无补偿开环控制中压电陶瓷在输入电压与输出位移之间表现出明显的迟滞和蠕变非线性特性,使得扫描所得图像失真.为此,针对原子力显微镜X轴的需求,采用了分步补偿的办法,先补偿蠕变特性而且可以简化迟滞补偿的算法,很大程度上减轻了图像的失真,使整个控制算法简单,无需复杂的运算,降低了对控制系统处理器的要求,降低设备成本.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张承进	山东大学控制科学与工程学院	30	370	10.0	18.0
2	肖祥丽	山东大学控制科学与工程学院	1	3	1.0	1.0