为提高三维微细电火花加工的加工效率,从而达到工业应用目的,采用放电间隙伺服控制实时补偿电极损耗的技术路线.提出了三维微细电火花伺服扫描加工方法.基础实验验证了伺服扫描加工每层加工深度的一致性,研究了横向扫描加工速度对加工深度的影响规律.在小于1 mm2加工区域内的三维结构加工实验结果显示,伺服扫描加工可以便捷地实现三维微小结构的加工成型.进一步在工件与电极之间附加激振,可大幅度地提高放电脉冲的有效利用率以及加工效率.采用φ100 μm的钨丝电极,在铜试件上加工深度300 μm的典型三雏形状,加工时间小于50 min.