对称解耦硅微陀螺仪结构设计研究

• 作者: 刘梅 周百令 夏敦柱
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 航空航天
• 关键词: 硅微机械陀螺仪 对称解耦 结构设计 有限元仿真
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: MEMS专集
• 页码范围: 435-438
• 页数: 4页
• 分类号: V245.554
• 字数: 2307字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.03.017

摘要

硅微机械陀螺仪的驱动模态和敏感模态间的交叉耦合制约了其性能的提高.设计了一种对称解耦硅微机械陀螺仪,它的驱动机构与检测机构都做线性滑膜阻尼振动且完全解耦,使得驱动和敏感模态之间的耦合小、结构振动平稳性好、品质因数高.该微陀螺仪的驱动与检测支承梁完全相同且对称分布,使得驱动模态和敏感模态的谐振频率受加工误差和温度变化的影响近乎相同,所以频率匹配性好,结构的灵敏度大大提高.实验测试结果表明对称硅微机械陀螺仪的耦合误差得到了有效减小,并且它的驱动和检测谐振频率仅相差6Hz,其品质因数在空气条件下分别为145和117,检测模态的品质因数与采用压膜阻尼振动方式进行检测的硅微机械陀螺仪相比有了显著提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周百令	东南大学仪器科学与工程学院	106	1086	17.0	23.0
2	夏敦柱	东南大学仪器科学与工程学院	22	160	8.0	11.0
3	刘梅	东南大学仪器科学与工程学院	4	34	3.0	4.0