多晶Al2O3薄膜的制备及其红外吸收谱研究

• 作者: 何蕾 王倩 王磊 许思友 贾丽娟
• 来源期刊: 材料导报：纳米与新材料专辑
• 学科: 工学
• 关键词: AL2O3 薄膜 溅射 退火 多晶
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 页码范围: 316-317
• 页数: 2页
• 分类号: TB43

摘要

高能氩离子束溅射金属铝靶，沉积在单晶Si基片上的非晶薄膜是Al和Al2O3的混合物。在空气中对其进行900-1200℃的热处理，成功地制备了以不同结晶形式存在的多晶Al2O3薄膜，讨论了不同退火温度对其结晶性能、表面形貌及红外吸收光谱的影响，为Al2O3薄膜制备与应用提供了良好借鉴。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许思友	新疆大学物理科学与技术学院	6	12	2.0	3.0
2	何蕾	新疆大学物理科学与技术学院	6	12	2.0	3.0
3	王磊	新疆大学物理科学与技术学院	34	49	4.0	6.0
4	王倩	新疆大学物理科学与技术学院	67	109	6.0	8.0
5	贾丽娟	新疆大学物理科学与技术学院	3	2	1.0	1.0