C涂层对SiC纤维介电性能的影响

• 作者: 于新民 周万城 朱冬梅 罗发 郑文景
• 来源期刊: 精细化工
• 学科: 工学
• 关键词: SiC纤维 化学气相沉积(CVD) 热解碳层 介电性能 功能材料
• 年，卷（期）: 2008,（12）
• 所属期刊栏目: 功能材料
• 页码范围: 1171-1174
• 页数: 4页
• 分类号: TB34
• 字数: 2522字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1003-5214.2008.12.007

摘要

以丙烯(C3H6)和氮气(N2)为反应气,用低压化学气相沉积(LPCVD)法在SiC纤维表面制备了热解碳层.考察了碳层厚度对纤维介电性能、反应气中C3H6体积分数对碳层微观结构及纤维介电性能的影响.结果表明,沉积100 nm厚碳层后,纤维复介电常数实部由76.4～73.8增加到176.9～174.3,虚部由67.5～66.0增加到214.7～210.2.但碳层厚度进一步增大到200 nm后,介电常数的增加不多.当C3H6体积分数由0.6降为0.45时,碳层结构有序化程度降低,晶粒变粗大,纤维介电常数实部由176.9～174.3降为156.4～153.7,虚部由214.7～210.2降为194.5～189.6.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱冬梅	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	131	940	15.0	22.0
2	罗发	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	168	1535	19.0	30.0
3	周万城	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	206	1931	22.0	34.0
4	于新民	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	7	27	4.0	4.0
5	郑文景	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	4	20	4.0	4.0