氧分压对TiO2薄膜微观结构与光吸收性能的影响

• 作者: 刘晓艳 张丽 杨兵初 高飞
• 来源期刊: 中南大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: TiO2薄膜 氧分压 +4价钛 吸收特性
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 材料·矿物·冶金·化学
• 页码范围: 64-68
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4|O484.5
• 字数: 3479字
• 语种: 中文

摘要

采用直流磁控溅射法在不同氧分压下制备TiO2薄膜;研究氧分压对TiO2薄膜的表面形貌、晶体结构、化学组分及光吸收性能的影响.研究结果表明:Ti在所有样品中均以+4价态存在;随着氧分压的增大,TiO2薄膜颗粒逐渐变大,薄膜的结晶质量随着氧分压的增大逐渐提高;在吸收光谱中,300 nm 附近的紫外吸收峰随着氧分压的增大而减弱,在330～465 nm 范围内出现1 个吸收谷,且该吸收谷随着氧分压的增大而减小,当氧分压达到0.8 Pa时,吸收谷基本消失.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨兵初	中南大学物理科学与技术学院	65	347	10.0	13.0
2	刘晓艳	中南大学物理科学与技术学院	62	583	14.0	21.0
3	张丽	中南大学物理科学与技术学院	53	381	9.0	17.0
4	高飞	中南大学物理科学与技术学院	9	25	4.0	4.0