利用范德堡法在金刚石对顶砧中精确测量样品电阻率

• 作者: 吴宝嘉 韩永昊
• 来源期刊: 吉林大学学报（理学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 高压 金刚石对顶砧 范德堡 电阻率 有限元分析
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 物理
• 页码范围: 956-958
• 页数: 3页
• 分类号: O521.21
• 字数: 1337字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-5489.2008.05.030

摘要

利用有限元分析方法(FEA)对金刚石对顶砧(DAC)中范德堡法测量极微小样品电阻率的误差进行数值模拟与分析, 结果表明, 对于极微小样品, 电极与样品的接触面积是影响电阻率精确测量的重要因素, 测量误差随接触面积的增大而增大, 对半导体材料尤其明显. 当样品厚度与直径的比值小于0.45, 且电极和样品的接触面边长与样品直径的比值小于0.1时, 测量电极是否满足点接触条件, 范德堡法均能给出精确的测量结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩永昊	吉林大学超硬材料国家重点实验室	7	9	2.0	2.0