激光共焦扫描显微镜在微机电系统中的应用

• 作者: 张玉龙 张艳 曾毅波 蒋书森 黄彩虹
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 激光共焦扫描显微镜 微机电系统 角度测量 形貌分析 图形拼接
• 年，卷（期）: 2008,（7）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1241-1246
• 页数: 6页
• 分类号: TH742.64
• 字数: 3400字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2008.07.016

摘要

研究了激光共焦扫描显微镜(LSCM)在微结构分析中的应用,综述了该项应用的优势.LSCM的高分辨率和光强调节功能,使其可用于大角度测量;与图像处理系统相结合,便于微结构的定性和定量分析;而全自动样片台沿X轴和Y轴的自动扫描实现了图像的拼接功能.实验结果表明:运用LSCM测量的斜面最大角度至少可以达到50°;在悬臂梁的形貌分析中,可获得清晰的三维形貌,同时通过二维定量分析精确测得其形变为3.145 μm;在100×物镜下,运用拼接功能获得384 μm×288 μm的视场面积,解决了高放大倍数下,在单帧显微图像中无法获取所观测对象全貌的问题.LSCM在微结构分析中的应用弥补了其它形貌分析设备测量功能上的不足,提升了微机电系统的测试水平.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄彩虹	华侨大学信息科学与工程学院	19	80	5.0	8.0
2	张玉龙	厦门大学萨本栋微机电研究中心	7	42	4.0	6.0
3	曾毅波	厦门大学萨本栋微机电研究中心	10	53	4.0	7.0
4	张艳	厦门大学萨本栋微机电研究中心	6	17	1.0	4.0
5	蒋书森	厦门大学萨本栋微机电研究中心	3	17	1.0	3.0