双层结构TiO2- WO3气敏薄膜特性的研究

• 作者: 冯有才 刘志刚 尹英哲 胡明 陈鹏
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 直流反应磁控溅射 双层结构 反应速率 气敏
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 单晶、薄膜及其他功能材料
• 页码范围: 588-590,593
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2461字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2008.05.022

摘要

用直流反应磁控溅射法制备了TiO2-WO3双层结构的气敏薄膜,进行了薄膜微结构和化学成分分析,研究了TiO2表面层对WO3气敏特性的影响.实验证明:当TiO2膜厚为30 nm时,WO3薄膜对NO2敏感特性得到改善,TiO2-WO3结构的薄膜对空气中较低浓度的NO2(体积分数为(1～3)×10-5)具有优异的敏感特性和响应特性.最适宜的工作温度为120 ℃,在一些气体(如CO、H2S、C2H5OH、H2)中对NO2的选择性也大大提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈鹏	天津大学电子信息工程学院	33	223	8.0	13.0
2	胡明	天津大学电子信息工程学院	139	1336	19.0	28.0
3	刘志刚	天津大学电子信息工程学院	38	320	9.0	16.0
4	冯有才	天津大学电子信息工程学院	8	46	4.0	6.0
5	尹英哲	天津大学电子信息工程学院	8	46	4.0	6.0