电子散斑干涉载频调制形貌测量技术

• 作者: 刘菲 孙平 黄珍献
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 工学
• 关键词: 电子散斑干涉(ESPI) 形貌测量 载波 傅里叶变换
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 测量·检测
• 页码范围: 525-527
• 页数: 3页
• 分类号: TN247
• 字数: 1631字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-0086.2008.04.027

摘要

提出了电子散斑干涉(ESPI)载频调制测量物体形貌的方法.在ESPI中,物体表面的微小偏转可引入包含物体高度信息的载波干涉条纹,具有灵敏度高的优点.用摄像机采集该载波条纹图,利用傅里叶变换法可解调出物体高度的位相信息,从而实现物体的形貌测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘菲	山东师范大学物理与电子科学学院	17	88	5.0	9.0
2	孙平	山东师范大学物理与电子科学学院	55	367	14.0	17.0
3	黄珍献	山东师范大学物理与电子科学学院	3	39	2.0	3.0