超光滑表面纳米压痕硬度测试研究

• 作者: 刘春红 李成贵 贾世奎
• 来源期刊: 工业计量
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米压痕 纳米硬度 超光滑表面 Oliver-Pharr方法
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 计量测试与检定
• 页码范围: 3-5
• 页数: 3页
• 分类号: TB938
• 字数: 2025字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1183.2008.02.003

摘要

介绍纳米压痕法常用的Oliver-Pharr方法的计算原理,对硬度的概念做了进一步讨论.通过对三种不同材料的超光滑表面进行硬度测试,得出它们各自的硬度值和弹性模量,分析了结果差异的原因,探讨了在采用Oliver-Pharr方法进行硬度各参数测量时应注意的问题,分析结果对超光滑表面加工也有一定的指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李成贵	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	91	890	16.0	25.0
2	贾世奎	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	9	77	5.0	8.0
3	刘春红	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	6	53	4.0	6.0