原子沉积台控制系统实验研究

• 作者: 崔小虹 罗思 钱进
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 原子沉积台 驻波光场 F-P腔 压电陶瓷 控制系统
• 年，卷（期）: 2008,（z1）
• 所属期刊栏目: 激光器与激光光学
• 页码范围: 261-262,264
• 页数: 3页
• 分类号: TB921
• 字数: 1950字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2008.z1.097

摘要

研究了以稳定F-P腔腔长来控制原子沉积台与驻波光场之间相对位置的稳定性.在简要分析F-P腔工作原理的基础上,设计了F-P腔腔长锁定反馈控制系统.该系统以633nm稳频激光作为基准光源,通过光电转换、调制与解调、比例积分等控制环节,实现了将F-P腔的谐振频率锁定到基准光源的频率上.实验结果表明,锁定后的F-P腔腔长的稳定度达到了10-8以上,可满足原子光刻技术中对沉积台与驻波光场相对位置稳定的应用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔小虹	北京理工大学光电学院	9	52	4.0	7.0
2	钱进	中国计量科学研究院量子部	30	86	6.0	7.0
3	罗思	北京理工大学光电学院	1	0	0.0	0.0