基于波长扫描塔尔博特效应的阶高测量理论研究

• 作者: 张成义 李传起 裴世鑫
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 阶高 波长扫描 塔尔博特效应 分辨率
• 年，卷（期）: 2008,（12）
• 所属期刊栏目: 仪器、测量与计量
• 页码范围: 2307-2310
• 页数: 4页
• 分类号: TN911.74|O438.2
• 字数: 2669字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2008.12.013

摘要

近年来,多维阶高测量问题倍受关注,两波长或波长扫描方式的塔尔博特效应被应用于多维阶高测量.研究表明,基于塔尔博特(Talbot)效应的阶高测量方法具有仪器结构紧凑、无需机械扫描、稳定性高和测量范围大等优点.因没有光栅或检测器件的任何机械移动,可避免由此导致的相位问题及测量误差.取代相位信息,该方法采用衍射条纹的最大衬比度来判定塔尔博特像,测试中均采用占空比为1:2的龙基(Ronchi)光栅作为周期结构衍射物,利用不同波长塔尔博特像的像距来确定物体阶高.因为测量的是条纹衬比度而非绝对强度,所以阶高测量精度依赖于条纹衬比度,最大衬比度的获取与判定是非常重要的.在分析对比的基础上指出,采用非龙基型光栅,如正弦振幅光栅或相位光栅,能使成像条纹分布更合理,有效地提高成像条纹的衬比度.研究还表明,所采用周期结构衍射物的空间周期越小,分辨率就越高,从而给出了分辨率同衍射物空间周期的定量关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张成义	南京信息工程大学物理系	25	107	6.0	9.0
2	李传起	南京信息工程大学物理系	38	176	8.0	10.0
3	裴世鑫	南京信息工程大学物理系	34	65	5.0	7.0