纳米颗粒ZnO薄膜气敏机理研究

• 作者: 周康夫 杜明贵 潘孝仁 邵志翔 陆慧
• 来源期刊: 华东理工大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 纳米颗粒 ZnO薄膜 灵敏度 透射率 阻抗谱 晶界
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 物理
• 页码范围: 457-460
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2846字
• 语种: 中文

摘要

采用气体放电活化反应蒸发沉积(GDARE)法低温生长纳米颗粒ZnO薄膜.在不同温度下测试其对乙醇的灵敏度,结果表明:285℃附近纳米颗粒ZnO薄膜的灵敏度最高,为9.76,并且其最佳工作温度区间较窄.通过对ZnO薄膜的AFM表面形貌分析、SEM剖面分析和光学透射谱测试,可推测薄膜具有多孔性柱状晶表面结构,结合ZnO薄膜通入乙醇前后的阻抗谱测试结果,从晶粒晶界效应上对纳米颗粒ZnO薄膜的气敏机理进行了讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陆慧	华东理工大学物理系	20	99	6.0	9.0
2	潘孝仁	华东理工大学物理系	4	28	3.0	4.0
3	杜明贵	华东理工大学物理系	3	26	3.0	3.0
4	周康夫	华东理工大学物理系	1	12	1.0	1.0
5	邵志翔	华东理工大学物理系	1	12	1.0	1.0