纳米ZnO/PDMS复合薄膜力敏特性研究

• 作者: 梁华 王自敏
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米ZnO 聚二甲基硅氧烷(PDMS) SEM结构分析 力敏特性
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 279-285
• 页数: 7页
• 分类号: TB383.2
• 字数: 5416字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2018.02.001

摘要

力学敏感单元作为力学传感检测技术的核心单元,力敏传感技术在航空航天、工程设施、医疗、石油开采等生活、生产的各个领域都存在广泛的应用.研究了纳米ZnO/PDMS复合薄膜的制备,以及复合薄膜在加速度计中的应用.以纳米ZnO颗粒为填充粒子,以聚二甲基硅氧烷(PDMS)为聚合物,采用机械共混法制备了纳米ZnO/PDMS复合薄膜,并研究了复合薄膜的制作工艺、微观结构及力敏特性;并循序渐进地设计了复合薄膜在1G加速度内的力敏特性测试.通过测试和计算可得实验中加速度计的灵敏度最大可达到0.484 pF/gn,验证该复合薄膜结构应用到加速度计中的可行性,为基于复合薄膜结构的加速度计力敏效应的验证奠定了理论依据和测试基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王自敏	南昌理工学院电子学院	21	2	1.0	1.0
2	梁华	南昌理工学院电子学院	11	16	2.0	3.0