用于生物芯片的标准CMOS工艺光电传感器

• 作者: 刘楠 洪志良 王为
• 来源期刊: 微电子学与计算机
• 关键词: CMOS 光电二极管 灵敏度 nwell/psub p+/nwell
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 页码范围: 135-137,142
• 页数: 4页
• 分类号: TN4
• 语种: 中文

摘要

在分析光电二极管转化效率的基础上,分别使用nwell/psub光电二极管和P+/nwell光电二极管设计了有源像素单元.采用SMICO.18μm工艺流片.测试结果显示使用nwell/psub二极管的有源像素单元对黄光的灵敏度是3.32V/lx·s,对绿光的灵敏度是2.79V/lx·s,使用P+/nwell二极管的有源像素单元对黄光灵敏度是0.69V/Ix·s、对绿光的灵敏度是0.52V/Ix·s.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	洪志良	复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室	161	1248	18.0	29.0
2	刘楠	复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室	8	26	3.0	4.0
3	王为	复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室	2	1	1.0	1.0