大角度交叉波导通用模型及其验证

• 作者: 王世军 金仲和 马慧莲
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 工学
• 关键词: 环形谐振腔 交叉波导 衍射效应 通用模型
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: 光电子器件和系统
• 页码范围: 1192-1195
• 页数: 4页
• 分类号: TN252
• 字数: 2388字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-0086.2008.09.013

摘要

利用菲涅尔衍射原理,详细分析了光波在大角度交叉区域的传输特性,建立了任意角度交叉波导衍射效应的通用分析模型,得到在一定光波导结构条件下衍射损耗、端面反射及串音与交叉角度之间的关系.在此基础上通过BeamPROP光学软件仿真验证,结果表明,基于衍射原理建立的交叉波导通用分析模型在分析大角度交叉结构时有比较高的计算精度,计算误差小于0.2%.在此基础上,在硅衬底上利用低压化学气相淀积技术制作了二氧化硅交叉波导结构,进一步验证了上述理论分析结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金仲和	浙江大学信息与电子丁程系	144	1047	18.0	25.0
2	马慧莲	浙江大学信息与电子丁程系	57	569	13.0	21.0
3	王世军	浙江大学信息与电子丁程系	5	18	2.0	4.0