视觉瞄准激光干涉测量编码型水准尺

• 作者: 朱凌建 赵敏 邱宗明 黄秋红
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 编码型水准尺 视觉瞄准 干涉测量 图像检测
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 信息科学
• 页码范围: 537-542
• 页数: 6页
• 分类号: TN247|O436.1
• 字数: 2866字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2008.03.027

摘要

针对编码型水准尺分划误差的检测,提出了视觉瞄准与双频激光干涉术相结合的测量方法.构建了编码型水准尺的精密检测系统并对瞄准测量方法进行了研究.当被测条码边缘出现在瞄准视场中时,不必微调载尺工作台,即可实现图像和干涉仪测量数据快速采集,并由软件完成瞄准及测量.采用最大方差法分割图像;再使用图像边缘跟踪法,直接寻找检测边缘,从而避开去除噪声的困难;最后应用概率细分方法对条码边缘定位,提高测量分辨率,从而完成条码边缘图像的检测.实验结果表明,该检测系统视觉瞄准标准差为0.23 μm,系统稳定性标准差＜0.5μm.该瞄准测量方法提高了测量效率,测量精度高于检测要求4倍,保证了编码型水准尺检测的可靠性.该检测系统已成功应用于编码型水准尺的分划误差检测中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邱宗明	西安理工大学机械与精密仪器工程学院	39	251	8.0	14.0
2	黄秋红	西安理工大学机械与精密仪器工程学院	14	86	6.0	9.0
3	赵敏	西安理工大学机械与精密仪器工程学院	21	60	5.0	7.0
4	朱凌建	西安理工大学机械与精密仪器工程学院	19	58	5.0	6.0