一种新型MEMS电磁继电器的研究

• 作者: 丁桂甫 刘亮 戴旭涵 赵小林 鲁李乐
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统(MEMS) 电磁驱动 微继电器 微电铸
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 纳米,固态及真空电子器件
• 页码范围: 1533-1536
• 页数: 4页
• 分类号: TM581.3
• 字数: 3100字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2008.05.032

摘要

介绍了一种MEMS电磁驱动微继电器,这种继电器体积小、易于集成.它采用双层1 mm×1 mm平面线圈和吸合式坡莫合金悬臂梁结构,层间用聚酰亚胺作绝缘材料.文中介绍了器件的工作原理,建立了磁路的仿真模型,据此计算确定了气隙宽度和悬臂梁厚度.采用表面微加工和微电铸工艺制作了器件.