基于实时监测的激光外差干涉仪闲区误差自动补偿

• 作者: 付海金 杨宏兴 胡鹏程 谭久彬
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 工学
• 关键词: 闲区误差 自动实时补偿 外差干涉 折射率
• 年，卷（期）: 2008,（7）
• 所属期刊栏目: 测量·检测
• 页码范围: 934-937
• 页数: 4页
• 分类号: TN247
• 字数: 2365字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-0086.2008.07.021

摘要

针对目前激光外差干涉实时测量中,由于现场工作环境的限制,无法对闲区误差进行实时自动补偿的问题,提出了一种基于实时测量闲区值和折射率值的闲区误差补偿方法.该补偿方法以激光测距仪为主体,结合偏振片、偏振旋转器对闲区长度值进行测量,利用空气折射率测量仪获得测量过程中的空气折射率数值,并根据终端修正原则,取每次测量开始和结束时的折射率数值与清零时的闲区值对干涉测量结果进行修正.可有效降低实时测量中由折射率变化所引起的闲区误差对测量结果的影响,实验表明,本方法在折射率变化2.7×10-6,闲区值为100 mm的情况下,对HP5528干涉系统进行补偿后使零点漂移最大值从300 nm减小到30 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭久彬	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	140	2284	28.0	42.0
2	胡鹏程	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	7	87	4.0	7.0
3	杨宏兴	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	3	9	2.0	3.0
4	付海金	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	2	8	2.0	2.0