基于压电扫描管动态特性分析的AFM成像方法研究

• 作者: 周娴玮 张玉东 方勇纯 董晓坤
• 来源期刊: 高技术通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜 成像技术 压电扫描管 动态特性
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 先进制造与自动化技术
• 页码范围: 54-58
• 页数: 5页
• 分类号: TB85
• 字数: 4405字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3772/j.issn.1002-0470.2008.01.011

摘要

针对原子力显微镜(AFM)在高速扫描下成像误差大的缺点,提出了一种基于压电扫描管动态特性的改进成像方法,并对这种成像方法的性能进行了理论分析和实验验证.分析和实验结果表明,该成像方法可以较好地处理压电扫描管的动态特性,有效地提高 AFM 在 Z 方向上的成像精度,因此得到的扫描图像能够更加真实地反映样品的形貌.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方勇纯	南开大学信息技术科学学院	57	809	16.0	27.0
2	张玉东	南开大学信息技术科学学院	9	62	5.0	7.0
3	周娴玮	南开大学信息技术科学学院	3	29	3.0	3.0
4	董晓坤	南开大学信息技术科学学院	4	23	3.0	4.0