MEMS传感器安全监控系统的功能安全

• 作者: 吴亚平
• 来源期刊: 中国仪器仪表
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS传感器 功能安全 安全完整性等级 安全全过程
• 年，卷（期）: 2008,（7）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 23-26,36
• 页数: 5页
• 分类号: TP2
• 字数: 5041字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-2852.2008.07.003

摘要

介绍MEMS传感器的特点和应用,功能安全的主要概念、原则和方法,以及对MEMS传感器构成的安全监控系统进行功能安全评估的范围和适用标准.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴亚平		21	34	3.0	4.0