直角坐标激光直写的动态曝光模型

• 作者: 张山 王雷 谭久彬 金占雷
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 激光直写光刻 曝光量分布 Dill曝光模型 线条轮廓
• 年，卷（期）: 2008,（8）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1354-1360
• 页数: 7页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 3468字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2008.08.003

摘要

在兼顾胶层的光吸收特性、直写光束的高斯分布特征以及直写光束与胶层相对运动的情况下,建立了直角坐标激光直写的动态曝光模型以有效预测线条的线宽和侧壁角.仿真实验表明:以恒值高斯光强曝光时,该模型与等效仿真条件下的Dill曝光模型仿真结果完全一致.进一步证明了该模型的有效性和正确性,解决了目前在激光直写中存在的只能预测线宽或在忽略光刻胶吸收作用的情况下粗略估计直写线条轮廓的问题.同时,基于该模型分别分析了直写光功率和直写速度对线条轮廓的影响机理,为优化激光直写工艺的加工参量提供了一种有效的分析途径.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金占雷	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	5	23	3.0	4.0
2	谭久彬	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	140	2284	28.0	42.0
3	张山	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	5	25	4.0	5.0
4	王雷	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	36	230	8.0	14.0