SPM镜群检测中用于纳米级标记刻制的微致动器

• 作者: 张利 张宪 计时鸣 赵章风
• 来源期刊: 轻工机械
• 学科: 工学
• 关键词: SPM镜群 纳米级 标记 微致动器
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 自控·检测
• 页码范围: 69-71
• 页数: 3页
• 分类号: TP206|TP391.8
• 字数: 3187字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-2895.2008.02.020

摘要

研制了一种应用压电陶瓷的微进给机构用以驱动金刚石探针做纳米级微压入,并通过与现有激光原子力显微镜的激光反馈信号与工作台进给系统相配合,构成闭环调控型的金刚石探针微压入标记刻制系统.该系统能在被测样品表面刻制出具有一定深度的纳米级定位点或标记,为不同类型的显微镜对同一表面区域做分时、重复检测时提供精确定位,进一步实现多模式显微镜对同一表面的多参数综合评测.此外,应用该系统,配合不同的传感器,还可实现加工表面的磨损检测、硬度检测(压入法)以及多幅局部扫描图像的拼接(获取更大的扫描面积)等功能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	计时鸣	浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室	148	1843	23.0	37.0
2	张宪	浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室	67	1033	18.0	30.0
3	赵章风	浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室	48	379	10.0	17.0
4	张利	浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室	47	745	12.0	27.0