基于显微激光多普勒的纳结构振动特性测试

• 作者: 徐临燕 栗大超 胡小唐 赵大博 邱晗
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 工学
• 关键词: NEMS 显微激光多普勒 振动特性 谐振频率 静电激励 纳米梁谐振器
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 测量·检测
• 页码范围: 781-785
• 页数: 5页
• 分类号: TN247
• 字数: 3707字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-0086.2008.06.016

摘要

为了分析NEMS典型器件静电激励纳米梁谐振器的振动特性,建立了测试中的关键模型静电激励纳米梁谐振器的等效电学模型、纳米梁谐振器的等效机械模型,以及静电激励纳梁谐振器在受激状态下受到的静电力与静电激励的相互关系模型.利用基于显微激光多普勒纳结构离面振动测试系统,对静电激励纳米梁谐振器的离面振动特性进行了测试,试结果验证了建模的正确性,同时对NENS加工工艺进行了评价和表征.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡小唐	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	205	1913	21.0	33.0
2	栗大超	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	89	722	14.0	20.0
3	徐临燕	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	15	103	7.0	9.0
4	邱晗	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	3	11	2.0	3.0
5	赵大博	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	5	39	5.0	5.0