基于PZT的非球面能动抛光盘定位误差分析

• 作者: 凌宁 姜文汉 潘君骅 胡自强 饶长辉
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 非球面镜 非球面能动抛光磨盘 定位误差分析 PZT驱动器
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1577-1581
• 页数: 5页
• 分类号: TQ171.68
• 字数: 2311字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2008.09.003

摘要

研制了一个口径为100 mm、含19个PZT驱动器的非球面能动抛光磨盘,用于加工口径为350mm、K=-1.112 155、顶点半径为840mm的双曲面镜.为研究定位误差对非球面能动抛光磨盘输出面形精度的影响,对磨盘上任意点所需变形量δ以及由定位误差引入的变形量误差△δ进行了理论公式推导,并利用有限元分析方法计算得到了当非球面能动抛光磨盘中心到非球面工件中心的距离L为120mm且δL分别为0,-1.0,-0.5,0.5,1mm时,非球面能动抛光磨盘输出面形与理论面形比较剩余残差RMS相应分别为0.329,0.454,0.366,0.367,0.461μm,定位误差导致剩余残差RMS分别相应增加0,38%,10.9%,11.2%,40%.因此,定位误差应该控制在土0.5mm以内.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	饶长辉	中国科学院成都光电所	114	890	16.0	22.0
2	凌宁	中国科学院成都光电所	64	929	17.0	27.0
3	姜文汉	中国科学院成都光电所	109	2010	27.0	39.0
4	潘君骅	苏州大学现代光学技术研究所	15	220	7.0	14.0