基于PZT的非球面能动抛光盘的变形优化

• 作者: 凌宁 姜文汉 潘君骅 胡自强 饶长辉
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 非球面镜 非球面能动抛光盘 迟滞效应 径向基神经网络
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1-7
• 页数: 7页
• 分类号: TH703|TQ171.684
• 字数: 2926字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.01.001

摘要

基于PZT压电陶瓷驱动器的非球面能动抛光盘,能够在PZT驱动器的作用下改变面形,用于中小口径非球面镜加工.研制了一个口径100 mm、含19个PZT驱动器的非球面能动抛光盘,用于口径为350 mm、k＝-1.112 155、顶点半径为840 mm的双曲面镜的加工实验.为研究PZT压电陶瓷驱动器迟滞效应对非球面能动抛光盘输出面形的影响,实测各PZT压电陶瓷驱动器的电压位移特性曲线,用基于径向基函数的神经网络算法建立了各PZT压电陶瓷驱动器位移输出特性的数学模型并实施补偿,实测了各PZT压电陶瓷驱动器迟滞补偿前后的位移输出值.最后,利用有限元分析方法,得到了迟滞补偿前后非球面能动抛光盘的输出面形RMS以及剩余残差RMS分别为1.910 μm和0.342 μm.通过补偿各PZT压电陶瓷驱动器的迟滞效应,非球面能动抛光盘输出面形精度得到了提高,剩余残差RMS减少了82%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	饶长辉	中国科学院成都光电技术研究所	114	890	16.0	22.0
2	凌宁	中国科学院成都光电技术研究所	64	929	17.0	27.0
3	姜文汉	中国科学院成都光电技术研究所	109	2010	27.0	39.0
4	潘君骅	苏州大学现代光学技术研究所	15	220	7.0	14.0