能动抛光磨盘的变形实验研究

• 作者: 凌宁 姜文汉 曾志革 李晓今 邓建明
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 能动磨盘 非球面反射镜 光学加工 残余误差 变形
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 555-559
• 页数: 5页
• 分类号: TH74
• 字数: 2558字
• 语种: 中文

摘要

能动抛光磨盘实时产生不同的表面变形,在对大口径非球面光学元件进行精磨和抛光时实现与工件表面良好的大尺寸吻合,可以消除传统光学加工采用小尺寸磨头时带来的高频残余误差并提高加工效率.以加工直径1.3m左右,F/2的抛物面光学元件为例,对能动磨盘在不同离轴度时能够产生的变形进行了计算和实验.结果表明,能动磨盘能够以较高精度产生旋转对称或非对称的抛物面形状.对能动磨盘产生变形后的残余误差进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	凌宁	中国科学院光电技术研究所	64	929	17.0	27.0
2	姜文汉	中国科学院光电技术研究所	109	2010	27.0	39.0
3	曾志革	中国科学院光电技术研究所	21	199	9.0	13.0
4	邓建明	中国科学院光电技术研究所	20	352	9.0	18.0
5	李晓今	中国科学院光电技术研究所	9	82	6.0	9.0