能动磨盘变形检测中的各误差因素分析

• 作者: 曾志革 李晓今 赵洪深
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 能动磨盘 变形检测 误差分析 去倾斜 误差补偿
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 325-329
• 页数: 5页
• 分类号: TH711
• 字数: 2331字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20132502.0325

摘要

针对现有φ530 mm能动磨盘的检测系统(有效检测口径φ420 mm),系统分析了检测过程中的球头误差、传感器安装角度误差和坐标定位误差,并给出了各项误差对检测精度的影响.同时,还针对检测基座不完全水平的问题建立模型,应用最小二乘法实现了检测数据的去倾斜处理.给出了实测数据去倾斜前后和误差补偿前后的检测精度对比情况,结果表明去倾斜算法能较好地还原实测数据,补偿检测中的系统误差有助于提高检测精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾志革	中国科学院光电技术研究所	21	199	9.0	13.0
2	赵洪深	中国科学院光电技术研究所	5	23	3.0	4.0
6	李晓今	中国科学院光电技术研究所	9	82	6.0	9.0