超短脉冲激光辐照硅膜的热弹性

• 作者: 于继平 王德飞 郭春凤 齐文宗
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 超短脉冲激光 硅膜 热弹性 热电子崩力 有限差分法
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 907-911
• 页数: 5页
• 分类号: TK124|O437
• 字数: 3774字
• 语种: 中文

摘要

考虑到热电子崩力的影响,在基于玻耳兹曼理论弛豫时间近似的非线性自相关模型基础上,将晶格温度与应变速率相耦合,建立了超短脉冲激光作用下半导体材料的超快热弹性模型.在单轴应变条件下,利用有限差分法模拟了500 fs脉冲激光作用下2 μm厚硅膜内的载流子温度、晶格温度、载流子数密度、热应力和热电子崩力等的变化情况.结果表明:在低能量密度激光条件下,热弹性效应对半导体材料的影响很小;载流子温度达到峰值的时间比激光强度达到峰值的时间早,随后载流子数密度达到峰值,以及激光脉冲作用5 ps以后硅膜趋于总体热平衡;在脉冲辐照早期,非热平衡阶段形成的热电子崩力在超快损伤过程中起主要作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	齐文宗	四川大学电子信息学院	30	289	12.0	15.0
2	郭春凤	四川大学电子信息学院	5	55	3.0	5.0
3	于继平	四川大学电子信息学院	4	50	3.0	4.0
4	王德飞	四川大学电子信息学院	7	68	4.0	7.0