体硅加工的压电式微加速度计的设计

• 作者: 李伟红 杨慧 郭航
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 体硅微加工工艺 压电式微加速度计 氧化锌
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 237-240
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2748字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.02.012

摘要

提出并设计了一种采用体硅微制造工艺制造的压电式微加速度计,其中体硅加工的硅质量块由悬臂梁支撑且悬臂梁部分区域沉积ZnO压电薄膜.通过对压电悬臂梁建立一维解析模型,研究了影响加速度计灵敏度的结构因素.在此基础上,利用有限元方法软件ANSYS设计了实际的微加速度计,并对六种不同的微加速度计结构进行了分析,得到了不同结构微加速度计的工作频率范围及灵敏度结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭航	厦门大学萨本栋微机电研究中心	34	112	6.0	8.0
2	杨慧	厦门大学萨本栋微机电研究中心	24	82	6.0	8.0
3	李伟红	厦门大学萨本栋微机电研究中心	1	9	1.0	1.0