一种测量微运动的多尺度高精度方法

• 作者: 卢清华 张宪民 范彦斌
• 来源期刊: 制造业自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 领域重点突破项目(20061682).教育部产学研合作专项资金项目
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 设计与应用
• 页码范围: 74-76,88
• 页数: 4页
• 分类号: TG801|TP391
• 字数: 2483字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-0134.2008.06.021

摘要

微运动测量是微纳制造技术研究的一项重要内容.文章将滤波器方法和多尺度方法相结合,提出了一种用于测量微运动的多尺度高精度方法.在该方法中,采用滤波器方法计算测量图像的梯度,并利用多尺度金字塔迭代方法对测量图像进行降采样和低通滤波,将较大像素的图像运动转化为多个小像素的图像运动进行估计,从而提高运动估计精度.提出的方法用于测量2个像素附近的谐振器图像运动时,测量偏差接近0.004个像素.实验模拟结果表明,这种多尺度方法能够实现高精度微运动测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张宪民	华南理工大学机械工程学院	193	2458	25.0	40.0
2	范彦斌	佛山科学技术学院机电与信息工程学院	53	224	8.0	12.0
3	卢清华	佛山科学技术学院机电与信息工程学院	44	158	7.0	10.0