基于MEMS技术的磁通门传感器制备研究

• 作者: 吴江妙 宣仲义 杨志强
• 来源期刊: 机械制造
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 磁通门 传感器 磁芯
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 现状·趋势·战略
• 页码范围: 43-46
• 页数: 4页
• 分类号: TN409
• 字数: 2346字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-4998.2008.04.016

摘要

基于MEMS(Micro Electro-Meclhanical Systems)技术的微型磁通门传感器具有体积小、重量轻、成本低、可靠性高、灵敏度高等传统磁通门器件无法比拟的优点.为此对磁通门的原理与结构进行了阐述,并介绍了3种典型磁芯结构微型磁通门传感器的研究现状,指出提高精度、缩小体积、集成化制造、数字化设计、批量化生产是微型磁通门传感器的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨志强	浙江师范大学职业技术学院	50	202	7.0	12.0
2	吴江妙	浙江师范大学职业技术学院	15	36	4.0	5.0
3	宣仲义	浙江师范大学职业技术学院	19	76	4.0	8.0