一种探测传感器式的扫描力显微镜的研制

• 作者: 朱振宇 杨德良 陈晓梅 马晓苏
• 来源期刊: 电子测量与仪器学报
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描力显微镜(SFM) 纳米测量机(NMM) 扫描器
• 年，卷（期）: 2008,（z2）
• 所属期刊栏目: 自动化仪表设计与应用
• 页码范围: 359-365
• 页数: 7页
• 分类号: TH742
• 字数: 4581字
• 语种: 中文

摘要

本文主要介绍了用于扫描力显微镜并带动探针运动的扫描器的研制.利用该扫描器,研制了能安装在纳米测量机上作为探测传感器的上扫描力显微镜.扫描力显微镜与中科院化学所本原纳米仪器公司的扫描探针显微镜控制器联接进行实验测试,在23μm×23μm×5μm的扫描范围对样品进行了扫描成像.经测试、分析和计算,在全量程扫描范围内横向和纵向分辨力分别为O.35nm和0.1m、在未有任何软件和硬件补偿的情况下横向满量程扫描范围内精度为5%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈晓梅		3	8	2.0	2.0
2	马晓苏		1	3	1.0	1.0
3	朱振宇		2	6	2.0	2.0
4	杨德良		1	3	1.0	1.0