超高精度大直径硅片表面超声浮动抛光

• 作者: 陈洁
• 来源期刊: 辽宁工程技术大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 大直径硅片 超声磨削 超声浮动抛光
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 机械与材料工程
• 页码范围: 413-416
• 页数: 4页
• 分类号: TH132
• 字数: 2791字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-0562.2008.03.028

摘要

为了提高大直径硅片表面质量,利用超声浮动抛光加工宏观磨削力、磨削应力、磨削热小,对加工材料表面损伤低的特点,再结合相关磨料对超高精度大直径硅片表面进行超声浮动抛光加工.在工作机理研究的基础上,对大直径硅片超声浮动抛光加工进行了实验研究,优化了其工作参数,获得了满意的效果,为该技术的实际应用奠定了理论与实验基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈洁	苏州市职业大学机电工程系	35	69	4.0	6.0