提高直线度测量分辨率的新方法

• 作者: 冯其波 匡翠方 张志峰 张斌 陈士谦
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 工学
• 关键词: 直线度误差 分辨率 激光测量 组合透镜 反射
• 年，卷（期）: 2008,（7）
• 所属期刊栏目: 测量·检测
• 页码范围: 931-933
• 页数: 3页
• 分类号: TN247
• 字数: 1252字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-0086.2008.07.020

摘要

利用测量光线的多次反射和组合透镜的方法使测量系统的分辨率相对于用探测器直接探测分辨率提高了8倍.实验结果表明:在二维直线度测量范围为±100 μm内,测量系统与Renishaw ML10激光干涉仪比对结果的线性相关度为0.999 7,对应点的标准偏差优于0.1 μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯其波	北京交通大学理学院	65	1465	21.0	37.0
2	张斌	北京交通大学理学院	24	271	11.0	16.0
3	陈士谦	北京交通大学理学院	18	306	11.0	17.0
4	张志峰	北京交通大学理学院	18	271	7.0	16.0
5	匡翠方	北京交通大学理学院	4	25	3.0	4.0