基于全息图放大的数字全息显微结构测量

• 作者: 于瀛洁 倪萍 周文静
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 数字全息 显微全息 全息图放大 相位物体
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 全国第六届精密工程学术研讨会专栏
• 页码范围: 827-831
• 页数: 5页
• 分类号: TB877.1|O438.1
• 字数: 2397字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2008.05.012

摘要

针对典型预放大数字显微全息光路中存在的二次位相误差,设计了基于全息图放大的数字全息显微光路.首先用光束照射透明显微物体,然后与平行参考光干涉,形成全息图,最后经显微镜获得放大的全息图.这种光路从系统上直接消除了主要由球面波引起的位相畸变,有利于处理的数字化及实时化.以位相光栅(30 lp/mm,槽深约0.3μm)作为实验样本,对此光路进行了分析研究,并分别用菲涅耳近似法和卷积法再现单幅全息图,同时获取了物体的强度信息和三维位相信息,位相深度为0.27μm.实验结果表明,本文设计的光路对二次位相产生的离焦误差有明显的抑制作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于瀛洁	上海大学精密机械工程系	80	791	16.0	24.0
2	周文静	上海大学精密机械工程系	24	189	9.0	13.0
3	倪萍	上海大学精密机械工程系	3	13	2.0	3.0