用于光电集成收发模块的SOI波导耦合器设计

• 作者: 于怀勇 冯丽爽 刘惠兰 王广龙 邢济武
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 波导耦合器 SOI 光电集成 收发模块 掩模版
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: MEMS专集
• 页码范围: 684-687
• 页数: 4页
• 分类号: TN491
• 字数: 2596字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.04.038

摘要

基于光纤陀螺的小型化和工程化设计要求,提出模块化设计概念.设计了一种Y型SOI波导耦合器,用于光纤陀螺光收发模块.此结构具有形式简单、谱宽、加工工艺成熟和易于实现光电集成等技术优势.理论上分析了波导结构参数对其特征参数(分光比、损耗)的影响,优化参数设计,通过模场匹配理论减小器件损耗.最后,对波导耦合器加工工艺进行了讨论,采用电子束光刻技术加工出波导掩膜版,并对加工工艺参数进行了优化.实验结果表明: 所设计的分光比50%:50%波导耦合器,当波导长为25 mm时,输入输出波导的间距可以达到300 μm,且理论弯曲损耗可忽略不计,可以有效的抑制光源与耦合器的串音干扰.通过优化工艺参数,设计的SOI波导耦合器可以满足设计要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯丽爽	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	85	462	12.0	19.0
2	刘惠兰	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	29	156	6.0	12.0
3	王广龙	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	6	39	3.0	6.0
4	于怀勇	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	13	81	5.0	9.0
5	邢济武	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	3	42	3.0	3.0