CaO—B2O3-SiO2微晶玻璃LTCC基板的烧结性能研究

• 作者: 周晓华 干林杰 张树人 王中俭 胡鉴耿
• 来源期刊: 材料导报：纳米与新材料专辑
• 学科: 工学
• 关键词: CaO-B2O3-SiO2系统微晶玻璃 低温共烧 晶相分析
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 页码范围: 352-355
• 页数: 4页
• 分类号: TQ174.758

摘要

CaO-B2O3-SiO2微晶玻璃基板具有介电常数低、能与金属电极低温共烧等特性。设计了3种玻璃配方，重点研究了其烧结性能和晶相组成。通过差热分析、X射线衍射晶相分析、SEM形貌分析、烧结收缩实验以及介电性能测定等，研究了玻璃组成、粉体颗粒度和烧结制度等对材料晶柏组成和性能的影响。结果表明，主晶相为硅灰石，粉体颗粒度D50在2μm左右，经850℃、10min烧结，可以获得致密度高、介电常数和介电损耗低的LTCC材料。