CaO-B2O3-SiO2系LTCC基板材料的制备及烧结

• 作者: 周晓华 张树人 李波 龙承毅
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: CaO-B2O3-SiO2 LTCC 玻璃陶瓷
• 年，卷（期）: 2011,（7）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 29-31
• 分类号: TQ171
• 字数: 1842字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2011.07.008

摘要

通过高温熔融法制备的CaO-B2O3-SiO2(CBS)系玻璃粉体(A料)与固相合成法制备的CaO-B2O3-SiO2-Al2O3粉体(B料)按照质量比7∶3混合，烧结制备CBS系LTCC材料，研究不同烧结温度对材料性能的影响。结果表明：在850℃下烧结的CBS玻璃陶瓷致密性好，x=y方向收缩率为15.16％，密度为2.642g/cm3，εr=5.99(1 MHz)，tanδ＜3.93×10-4(1 MHz)，抗弯强度σ=165 MPa，具有良好的综合性能，可用作LTCC基板材料。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张树人	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	187	1176	16.0	24.0
2	周晓华	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	70	468	11.0	17.0
3	李波	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	69	486	12.0	17.0
4	龙承毅	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	5	1.0	1.0