酸蚀深度对熔石英三倍频激光损伤阈值的影响

• 作者: 吕海兵 徐世珍 田东斌 祖小涛 蒋晓东 袁晓东 郑万国
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: Nd YAG激光 熔石英 化学腐蚀 亚表面缺陷 激光诱导损伤阈值
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 760-764
• 页数: 5页
• 分类号: O437
• 字数: 3049字
• 语种: 中文

摘要

采用干涉仪和台阶仪测试蚀刻深度随时间的变化,结合材料去除速率测量,研究了HF酸蚀液对熔石英表面蚀刻的影响.测试了蚀刻后损伤阈值和表面粗糙度的变化.研究表明,熔石英表面重沉积层厚度约16 nm,亚表面缺陷层大于106 nm;重沉积层去除后损伤阈值增大,随亚表面缺陷层暴露其阈值先降低后又增加,最后趋于稳定;然而,随蚀刻时间的增加,其表面粗糙度增大.分析表明,蚀刻到200 nm能有效地提高熔石英的低损伤阈值,有利于降低初始损伤点数量和提高熔石英表面的机械强度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	祖小涛	电子科技大学物理电子学院	111	627	12.0	17.0
2	袁晓东	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	114	624	13.0	17.0
3	吕海兵	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	49	310	9.0	14.0
4	蒋晓东	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	47	476	14.0	19.0
5	徐世珍	电子科技大学物理电子学院	8	51	3.0	7.0
9	田东斌	电子科技大学物理电子学院	1	28	1.0	1.0